[发明专利]一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件在审
| 申请号： | 202010693465.5 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111816532A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 耿少飞;曹建勇;魏会领;周博文;余珮炫;罗怀宇;杨宪福;周红霞 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | H01J1/22 | 分类号： | H01J1/22;H01J3/04 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 董和煦 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及热阴极弧放电离子源技术领域，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本发明包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝；安装法兰上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管，馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境，馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管，馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子，灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本发明能够保证离子源能够快速更换灯丝，便于维护和维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 热阴极 放电 离子源 更换 灯丝 组件 | ||
【主权项】：
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