[发明专利]一种基于超声氮气射流的超快激光精密切割方法有效
| 申请号： | 202010691270.7 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111943499B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 佘婷;刘德峰;王攸;戴玉堂 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;中航高科智能测控有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/08 | 分类号： | C03B33/08;C03B33/09;B23K26/14;B23K26/38 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 100022 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及属于一种超快激光加工方法技术领域，具体是涉及一种基于超声氮气射流的超快激光精密切割方法；本发明根据单晶薄片实际加工过程在单一使用超快激光切割单晶薄片的基础上利用超声氮气射流装置调整氮气射流的喷射气压；通过超快激光器产生紫外超快激光光束通过聚焦透镜调整超快激光光束聚焦至所述单晶薄片平面并对待加工单晶薄片进行切割加工，本发明极大减少了激光加工过程中单晶薄片气化回流后对加工端面的附着，从而有效降低了加工缺陷的产生，获得加工缺陷较少、粗糙度低的加工面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超声 氮气 射流 激光 精密 切割 方法 | ||
【主权项】：
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