[发明专利]一种提高折射率传感器件品质因数的结构及测试方法有效
| 申请号： | 202010680808.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111879728B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 黄小丹;仇超;王诗军;季小峰;王艳;朱敏 | 申请（专利权）人： | 常州机电职业技术学院 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/59 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 韩丽娜 |
| 地址： | 213164 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高折射率传感器件品质因数的结构及测试方法，属于传感器折射率品质因数的领域。该结构由基底、位于基底表面的复合层组成，所述复合层包括上金属层、中间半导体层和下介电层，其中上金属层为周期性的金属纳米颗粒阵列，中间半导体层为周期性的半导体纳米柱阵列，下介电层为周期性的介电纳米柱阵列。利用本发明中金属纳米颗粒的局域表面等离激元共振、半导体纳米柱的米氏共振与周期阵列的衍射波之间的多元耦合作用，以及介电纳米柱减弱的衬底效应，能获得灵敏度较高、带宽极窄的等离激元晶格共振，克服了传统金属等离激元晶格共振结构存在带宽较宽的问题，提高了折射率传感器件的品质因数，在生物、医学、食品等领域具有广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 折射率 传感 器件 品质因数 结构 测试 方法 | ||
【主权项】：
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