[发明专利]一种表征射频离子源离子束特性的测量方法在审
| 申请号： | 202010672938.3 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111885807A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 王大森;李晓静;聂凤明;裴宁;郭海林;张旭;夏超翔 | 申请（专利权）人： | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫;李娜 |
| 地址： | 315103 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种表征射频离子源离子束特性的测量方法，所述方法包括S1、真空腔室内固定硅片并将稳定后的离子束垂直投射于硅片上即α＝0；S2、调整离子束引出端面与硅片之间的距离WD以调整形成于硅片上的束斑，并据此束斑分析离子束形态为聚焦离子束或平行离子束；S3、获取离子束投射于硅片上形成的束斑面形PV值，利用MetroPro软件分析计算束斑直径；S4、测量束斑的长半轴a和短半轴b，并据二者比值a/b大小确定束斑形状为圆形光斑或椭圆形光斑。本发明能够直观反应离子束形态、束径大小以及束斑形状，便于准确分析离子束特性，对后期工艺实验提供了指导依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表征 射频 离子源 离子束 特性 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国兵器科学研究院宁波分院，未经中国兵器科学研究院宁波分院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010672938.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种驱动装置
- 下一篇：开关磁阻电机驱动海洋绞车主动升沉补偿控制方法
