[发明专利]粒子计数器传感器光束匀化和锐化的照明系统有效
申请号: | 202010672094.2 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111795921B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 戴昊;王春勇;来建成;严伟;李振华;纪运景 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01N15/14 | 分类号: | G01N15/14 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 汪清 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种粒子计数器传感器光束匀化和锐化的照明系统,包括半导体激光器,在半导体激光器光束出射方向上依次设有第一非球面镜、微透镜阵列散射片、第二非球面镜、圆孔光阑、柱面镜及矩形孔光阑;垂直于光束出射方向设有进气嘴和出气嘴,采样气流从传感器腔体进气嘴流入,从出气嘴流出,采样气流与光束交叉重叠区域形成光敏区。本发明的光学照明系统通过对光束的锐化和匀化,使光敏区的光束分布均匀及变窄,通过组合光阑降低散射光收集腔内的光学本底噪声,使其具有小体积、易于调节、高粒径测量准确度、高分辨率、高信噪比和高灵敏度的特点。 | ||
搜索关键词: | 粒子 计数器 传感器 光束 锐化 照明 系统 | ||
【主权项】:
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