[发明专利]粒子计数器传感器光束匀化和锐化的照明系统有效

专利信息
申请号: 202010672094.2 申请日: 2020-07-14
公开(公告)号: CN111795921B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 戴昊;王春勇;来建成;严伟;李振华;纪运景 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G01N15/14 分类号: G01N15/14
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 汪清
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种粒子计数器传感器光束匀化和锐化的照明系统,包括半导体激光器,在半导体激光器光束出射方向上依次设有第一非球面镜、微透镜阵列散射片、第二非球面镜、圆孔光阑、柱面镜及矩形孔光阑;垂直于光束出射方向设有进气嘴和出气嘴,采样气流从传感器腔体进气嘴流入,从出气嘴流出,采样气流与光束交叉重叠区域形成光敏区。本发明的光学照明系统通过对光束的锐化和匀化,使光敏区的光束分布均匀及变窄,通过组合光阑降低散射光收集腔内的光学本底噪声,使其具有小体积、易于调节、高粒径测量准确度、高分辨率、高信噪比和高灵敏度的特点。
搜索关键词: 粒子 计数器 传感器 光束 锐化 照明 系统
【主权项】:
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