[发明专利]基于空气孔的分布式反馈激光器及制备方法在审
申请号: | 202010670427.8 | 申请日: | 2020-07-13 |
公开(公告)号: | CN111916997A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 黄翊东;崔开宇;刘仿;冯雪;张巍 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01S5/12 | 分类号: | H01S5/12;H01S5/10 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 苗晓静 |
地址: | 100084 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种基于空气孔的分布式反馈激光器及制备方法,激光器包括P电极、P掺杂层、有源层、N掺杂层和N电极;P电极两侧分别设置有一个空气孔波导阵列,空气孔波导阵列由多个空气孔形成,每个空气孔均贯穿P掺杂层、有源层和N掺杂层,并在衬底上表面截止。本发明通过设计空气孔结构,形成二维平板光子晶体,产生光子禁带,在完整的光子晶体中引入缺陷,利用光子禁带将光限制在缺陷中传播,形成线缺陷光子晶体波导,在光子带隙,缺陷模式产生的慢光效应可以增大单位传输距离的光增益,易于实现增益超过损耗的激光激射条件,因而可以缩短传统DFB‑LD激光器的谐振腔结构,从而降低芯片体积,提高芯片可集成性能。 | ||
搜索关键词: | 基于 气孔 分布式 反馈 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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