[发明专利]电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法有效
申请号: | 202010660885.3 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN113620252B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 陈义平 | 申请(专利权)人: | 陈义平 |
主分类号: | C01B7/19 | 分类号: | C01B7/19 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种电子级氢氟酸制造系统及制造电子级氢氟酸的方法,通过控制无水氢氟酸的沸点及冷凝温度,经过多段的气化、冷凝,使该无水氢氟酸中的杂质得以去除,之后再将气态氢氟酸过滤、吸收、冷却,以取得电子级氢氟酸产品。 | ||
搜索关键词: | 电子 氢氟酸 制造 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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