[发明专利]一种在超高真空系统内精确气体进样、采集的分析装置有效
| 申请号： | 202010655472.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111879757B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 董珊珊;周传耀;夏树才 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/75 | 分类号： | G01N21/75;G01N21/03 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 116023 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于表面化学技术领域，特别涉及一种在超高真空系统内精确气体进样、采集的分析装置。包括气路装置、定量给料器装置、残余气体分析仪装置、激光器及超高真空腔体，其中气路装置和定量给料器装置连接，定量给料器装置接入超高真空腔体内，用于给样品的表面提供吸附气体；残余气体分析仪与铜罩子组合安装在超高真空腔体上，用于精准探测样品表面脱附出的气体；超高真空腔体上有预留的窗口，激光器发射的激光通过窗口照射至样品的表面上进行光化学反应。本发明易操作，精确度高，可以灵活地在超高真空系统内以各种角度转动样品，结合外加光照，可进一步探测并分析表面化学反应产物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 系统 精确 气体 采集 分析 装置 | ||
【主权项】：
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