[发明专利]一种基于液体透镜的非球面检测方法有效
| 申请号： | 202010640723.3 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111854635B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 吴永前;刘源超;刘峰伟;徐燕;陈小君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于液体透镜的非球面检测方法，该方法主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，又由非球面的补偿原理，可以相应的设计出由液体透镜进行补偿的补偿镜，在检测过程中完全补偿非球面的法线像差，产生与理想非球面一致波前，进而可以分析非球面的面形误差信息。对于多种曲率的非球面可以实现等同检测，同时对于补偿镜的补偿范围也相应的进行了提高，因此减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 液体 透镜 球面 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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