[发明专利]一种高纯度六氟化钨气体生产方法在审
申请号: | 202010640264.9 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN111689522A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 崔翼祚 | 申请(专利权)人: | 厚成新材料(南通)有限公司 |
主分类号: | C01G41/04 | 分类号: | C01G41/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯度六氟化钨气体生产方法,包括如下步骤:S1:将一定量的粗六氟化钨引入过滤罐中,在一定温度下使过渡金属化合物杂质吸附在过滤罐内的含碳材料上;S2:将暂存罐以及与其相连的管路抽真空,然后进行蒸馏;S3:将六氟化钨冷凝成固体后,对精馏塔进行抽真空,将固体六氟化钨中挥发性杂质排出;S4、将精馏塔内冷凝成固体的六氟化钨进行加热,使得六氟化钨融化成液体后,将六氟化钨引入至鼓泡容器内,向鼓泡容器内充入高纯惰性气体对液态六氟化钨进行鼓泡;S5、然后再重复S2‑S4的步骤2‑3次。本发明通过对粗六氟化钨的过滤、蒸馏和精馏,通过在鼓泡容器内对液态六氟化钨进行鼓泡,获得的六氟化钨的纯度更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 纯度 氟化 气体 生产 方法 | ||
【主权项】:
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