[发明专利]一种隧道式不锈钢装饰卷板的连续卷绕真空镀膜生产装置在审
| 申请号： | 202010613884.3 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111607777A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李飞;李龙 | 申请（专利权）人： | 遵化市超越钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 张绍磊 |
| 地址： | 064200*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隧道式不锈钢装饰卷板的连续卷绕真空镀膜生产装置，具体涉及真空镀膜设备技术领域，包括开卷室、挡板、镀膜室和收卷室，所述开卷室和镀膜室之间设置有挡板，所述镀膜室和收卷室之间设置有另一挡板。本发明通过设置翻转气缸和整体密封板，开启时，将部件转到镀膜室外部，可方便检修离化源更换或调整靶材，通过设置遮挡装置当真空离子镀启动作业时，启动遮挡装置将磁控溅射镀进行遮挡，防止磁控溅射镀被污染，通过设置检修口，开启后便于更换和清理镀膜室衬板，检修托辊和镀膜室，彻底解决镀膜室空间小，温度高，操作不方便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 不锈钢装饰 连续 卷绕 真空镀膜 生产 装置 | ||
【主权项】：
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