[发明专利]一种红外探测器有效
| 申请号： | 202010607579.3 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111504480B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 魏斌;翟光杰;翟光强 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/12;G01J5/04 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种红外探测器，红外探测器包括多个用于将红外辐射能转换为电能以进行红外探测的探测器半导体像元，即包括多个对红外辐射敏感且专门适用于把红外辐射能转换为电能的半导体器件，每个探测器半导体像元的至少两个梁结构中，由红外吸收板向对应的微桥柱的梁路径中，交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一和第二半桥结构，第一和第二半桥结构构成热对称结构；第一半桥结构包括支撑层、电极层和钝化层，第二半桥结构包括支撑层，热对称结构中的第一半桥结构的长度大于第二半桥结构的长度，热对称结构中的第一半桥结构与第二半桥结构的热导非平衡差值小于等于20%。通过本公开的技术方案，降低了探测器半导体像元的总热导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 | ||
【主权项】：
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