[发明专利]光学锁定器有效
申请号: | 202010590033.1 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN111693155B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | A·P·詹森 | 申请(专利权)人: | 朗美通技术英国有限公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;王晓晓 |
地址: | 英国北*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 描述了一种用于光学锁定器的干涉测量组件。所述干涉测量组件包括干涉仪和检测器组件。所述干涉仪被配置成使得沿着第一路径从输出观察到的输入的图像至少在垂直于输入光束的方向上与沿着第二路径从输出观察到的输入的图像移位。所述检测器组件被配置成检测由所述干涉仪产生的干涉图案的不同区域的强度,并且基于所述区域的所述强度确定多个输出信号;其中每个输出信号对于强度和波长之间的关系具有不同的相位。 | ||
搜索关键词: | 光学 锁定 | ||
【主权项】:
暂无信息
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