[发明专利]保持装置、曝光装置、物品制造方法在审
| 申请号： | 202010587042.5 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112147855A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 中岛猛;羽切正人;辻穣 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种保持装置、曝光装置、物品制造方法。为了提供能够以再现光学面的形状的方式保持光学元件的保持装置，本发明所涉及的保持装置以使光学元件的光学面的面法线与重力方向非平行的方式，保持光学元件，其中，具备：保持光学元件的台座及载置台座的载置台，台座及载置台相互针对的接触面的一方是曲面；以及按压机构，夹着与面法线垂直的第1剖面，从两侧以预定的按压力按压光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 曝光 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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