[发明专利]一种电子行业蒸镀设备的清洗方法有效
| 申请号： | 202010580860.2 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111715590B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张正伟;周伯成;王永东;王圣福;刘宇航 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/14;B24C1/00 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子行业蒸镀设备的清洗方法，通过先对蒸镀设备进行高压水洗能够有效清理大块残膜，进行喷砂清理能够对残膜进一步清理；最后采用先高压超声清洗再高压兆声清洗，能够有效清除掉蒸镀设备在蒸镀作业时附着的小颗粒杂质，清洗时间短，清洗效果好，耗能少。本发明的清洗效率高，无需长时间浸泡处理，清洗效果好；即使对残膜层厚超过1mm的蒸镀设备进行清洗，也能够在短时间内将残膜层给清除掉，清除效果好；清洗液为水，污染小，节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 行业 设备 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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