[发明专利]一种高灵敏度微型皮拉尼计在审
| 申请号： | 202010570563.X | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111721469A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;任杨波;徐好 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于正、负电阻温度系数的高灵敏度微型皮拉尼计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于微型皮拉尼计采用两个正电阻温度系数加热器(1)作为惠斯通全桥电路一对对边，两个负电阻温度系数加热器(2)作为另一对对边。微型皮拉尼计工作时，在惠斯通电桥的一对对边加载恒定直流电压，正电阻温度系数加热器(1)和负电阻温度系数加热器(2)温度升高，阻值分别增加和下降。腔体内真空度不同，阻值变化量不同，从惠斯通电桥另一对角输出的电压也相应发生改变，通过测量惠斯通电桥的输出电压可反映出封装腔体内的真空度。本发明所涉及的微型皮拉尼计有以下优点：测量灵敏度高，可检测的最小压力和漏率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 微型 皮拉尼计 | ||
【主权项】：
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