[发明专利]一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置

摘要

本发明公开一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置，包括硫酸储槽，所述硫酸储槽通过硫酸管路分别与结构相同的第一反应釜和第二反应釜并联，而在硫酸管路上还设置有硫酸计量泵，所述第一反应釜内设置有通过搅拌电机驱动的搅拌叶片，并且在第一反应釜上还设置有安全阀和压力表，所述第一反应釜和第二反应釜的出口端还分别通过反应釜管路与脱水吸收塔的入口端相连，而脱水吸收塔的出口端则通过吸收塔管路与低温动态吸附纯化装置的入口相连，低温动态吸附纯化装置的出口端通过管路依次与氯化钙脱水槽、硅胶脱水槽相连，而硅胶脱水槽的出口端则通过管路分别与两个结构相同的成品瓶组相连，所述的成品瓶组包括成品气钢瓶和成品气铝合金瓶。