[发明专利]一种激光打标方法、装置及系统有效
| 申请号： | 202010560208.4 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111644750B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张元元;李鹏 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光打标方法、装置及系统，对激光打标过程中采用的激光光束进行优化设计，即激光光束在垂直其照射方向的截面上，自中心向外方向包括依次环绕的第一区域至第N区域，且所述第一区域至第N区域中至少一区域与其余区域处功率不同。进而通过优化激光光束不同区域的功率，保证不同功率的区域能够对器件结构的表面进行烧蚀形成预设图案标记的同时，降低了激光光束的整体功率，进而减小了激光能量的损耗；同时减小了激光光束烧穿器件结构的几率，而达到避免了激光打标过程中出现损坏器件结构的情况的目的，同时避免了激光光束对器件结构内部功能器件灼烧而导致其可靠性失效的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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