[发明专利]一种长效耐磨防雾镜片涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202010546007.9 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111560592B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张栋;汪爱英;孙丽丽;左潇;陈仁德 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58;C23C14/34;C23C14/06;G02B1/14;G02B1/18 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长效耐磨防雾镜片涂层及其制备方法与应用。所述制备方法包括：采用高功率脉冲复合射频磁控溅射系统，在镜片基材表面沉积形成硅掺杂类金刚石涂层；之后对所述硅掺杂的类金刚石涂层进行等离子体刻蚀处理形成纳米织构，从而获得长效耐磨防雾镜片涂层，其中，所述长效耐磨防雾镜片涂层的表面粗糙度为10～20nm。本发明采用高功率脉冲复合射频磁控溅射系统，并对溅射工艺参数进行优化，可以精确控制硅掺杂类金刚石涂层中硅的含量，从而保证涂层高硬度及优异的耐磨性；同时采用氧等离子体对涂层进行选择性刻蚀，使涂层形成纳米织构表面，从而使涂层具有长效优异亲水性，本发明制备的长效耐磨防雾镜片涂层在镜片防雾领域有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长效 耐磨 镜片 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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