[发明专利]用于光学邻近修正的重定位方法

摘要

本发明公开一种用于光学邻近修正的重定位方法，包括提供布局图案；指定沿布局图案的线段排列的评估点；识别出问题区域，其中每一问题区域包括至少一线段转折处；依据问题区域的几何图形而对其分类；将每一问题区域分为分别具有至少一评估点的多个重定位区段；进行扫描以取得多条线段在每一重定位区段处的线宽，且取得从每一线段的从每一重定位区段处往外延伸直到接触另一线段的邻近空间的尺寸；以及根据每一评估点对应的线宽、每一评估点对应的邻近空间尺寸、每一评估点所属问题区域的几何图形以及每一评估点所属重定位区段的位置而重新定位评估点。