[发明专利]基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在审
| 申请号： | 202010538859.3 | 申请日： | 2020-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN111487198A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 廖廷俤;颜少彬 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林捷;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明申请提出一种基于相邻面完全等光程共焦成像装置的基本结构原理，在相邻双面成像光路中分别采用一块平行平板来实现相邻双面空间分离成像检测的新方法。与偏振分像法、双色分离成像法或时间差分辨成像法一样，该新方法可以获得半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，但无需使用偏振光学元件与偏振CMOS传感器（相机）、或彩色相机及其额外的图像处理，有效提高了检测装置的性价比与检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 平行 平板 相邻 同时 完全 光程 成像 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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