[发明专利]一种非线性自校正的谐振型声表面波温度传感器有效
| 申请号： | 202010524356.0 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111649839B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;刘铁钢;张小辉 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/26 | 分类号： | G01K11/26 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种非线性自校正的谐振型声表面波温度传感器，包括基片、叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵。基片上声表面波在相速度传播方向上具有自然单向性，群速度传播方向和相速度传播方向存在能流角PFA，且|PFA|≤10°；叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵的声孔径方向与相速度传播方向垂直，叉指换能器汇流条方向与能流角PFA方向平行；这样设计的谐振型声表面波温度传感器具有低频和高频两个谐振峰，本发明利用其低频和高频两个特征谐振峰，通过自差分方法，实现传感器的非线性自校正，且保持了单个器件的小体积，同时避免了现有单个谐振器单个谐振峰使用时，频率信号解调受无线通路影响的问题，实现了传感器使用过程中的免校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非线性 校正 谐振 表面波 温度传感器 | ||
【主权项】：
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