[发明专利]变径磁过滤等离子体引出装置及真空离子束镀膜设备有效
申请号: | 202010513293.9 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111778484B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 卫红;胡琅;徐平;侯立涛;冯杰;胡强;侯少毅 | 申请(专利权)人: | 季华实验室 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人: | 陈志超;黄家豪 |
地址: | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种变径磁过滤等离子体引出装置及真空离子束镀膜设备。该变径磁过滤等离子体引出装置,包括:一管体,所述管体包括第一端和第二端,所述管体在所述第一端与所述第二端之间的横截面的尺寸按照预设规律变化;一导电线,其沿着所述管体的外侧壁逐圈缠绕,以在所述管体的外壁上形成与所述管体外壁轮廓对应的导电螺线管。本申请实施例通过该管体的变化设置及导电线的提供的磁场,可以解决现有过滤阴极过滤管道及磁路设计困难,大颗粒杂质过滤效果差,沉积端离子束光斑不可变等问题,同时可以提高等离子体的利用效率,可以提高沉积形成的膜层的质量以及均匀性。 | ||
搜索关键词: | 变径磁 过滤 等离子体 引出 装置 真空 离子束 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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