[发明专利]一种等离子体中带电粒子运动控制装置及方法在审
| 申请号： | 202010500842.9 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113766719A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 马一飞;王梅;韩杰敏;陈旭远;肖连团;贾锁堂 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | H05H1/16 | 分类号： | H05H1/16;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 030091*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体中带电粒子运动控制装置及方法，该装置包括带电粒子运动控制腔和多组亥姆霍兹线圈；多组亥姆霍兹线圈连接电流源，在带电粒子运动控制腔周围施加磁场，利用洛伦兹力调控带电粒子运动行为；带电粒子运动控制腔包括腔体和带电粒子种类筛选层，带电粒子种类筛选层用于筛选进入腔体内的带电粒子种类；腔体由底部极板和两组水平方向极板组成，腔体内部形成电场，用于控制进入腔体内部的带电粒子的运动方向和带电粒子冲击基底的运动能量。本发明可精确控制带电粒子运动，达到等离子体中带电粒子运动人为精确控制的目的，从而扩展了PECVD设备沉积或刻蚀功能及效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 带电 粒子 运动 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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