[发明专利]一种气压涂布式纳米压印设备及压印方法在审
| 申请号： | 202010492747.9 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111679553A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 邓萌萌 | 申请（专利权）人： | 璞璘科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 金国栋 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富阳区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种气压涂布式纳米压印设备，包括机架、第一传送带、第二传送带，第一传送带设置于第二传送带上方，第二传送带外圈表面用于放置待压印的衬底，第一传送带外圈表面设有压印模板，第一传送带、第二传送带接近端间隙配合形成压印的长条形工作平面，机架上还设置有第一喷气装置，第一喷气装置包括一个以上的喷气端，喷气端位于第一传送带内部竖直上方，并垂直向下喷射将压印模板紧紧贴于衬底上表面的高压气体。本发明通过第一喷气装置将膜片紧紧压于模板之上，实现压印过程，工序简易，压印压力均匀，并且可以用于任意尺寸产品的压印过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气压 涂布式 纳米 压印 设备 方法 | ||
【主权项】：
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