[发明专利]一种晶圆冷却装置有效
| 申请号： | 202010468002.9 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621758B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;程文进;龚俊;陈庆广 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58;F25D31/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆冷却装置，包括密封腔室、设于密封腔室下部的冷却基座、设于密封腔室上部的安装座、以及与安装座相连的升降驱动件，所述安装座上设有片托，所述冷却基座上设有晶圆定位区、安装座定位区、片托避让凹槽、液冷腔、用于向晶圆定位区输送冷却气体的气冷组件、以及用于排出气体的排气组件，所述安装座定位区位于所述晶圆定位区的外周、且安装座定位区的高度大于晶圆定位区的高度，所述液冷腔位于所述晶圆定位区下方，所述安装座和/或所述安装座定位区设有密封件。本发明具有结构简单、可靠，冷却效果好，冷却时间短等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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