[发明专利]一种长蚀刻寿命的铜蚀刻液在审
| 申请号： | 202010462197.6 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111647888A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李少平;钟昌东;郝晓斌;贺兆波;张演哲;张庭;蔡步林;万杨阳;王书萍;冯凯;尹印;李鑫;景继磊 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高稳定性、长蚀刻寿命的铜蚀刻液。该蚀刻液由双氧水、有机酸、次氧化剂、螯合剂和pH调节剂组成。在蚀刻液中，双氧水和次氧化剂的协同作用克服了蚀刻速率较低、氧化剂消耗过快、蚀刻寿命较短等缺陷；柠檬酸等有机酸可以促进氧化铜在蚀刻液中的溶解过程，同时有机酸也可作pH缓冲剂，保持蚀刻液pH在小范围内变化，提高稳定性；多种螯合剂组合使用，不同配位原子充分、快速地和二价铜离子结合，生成更加稳定的金属螯合物，避免铜离子促进双氧水分解，延长铜蚀刻液使用寿命。本发明中的铜蚀刻液能在较长的蚀刻时间内保持稳定和均匀性，延长了蚀刻液的使用寿命，降低蚀刻成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 寿命 | ||
【主权项】：
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