[发明专利]滤波器单元，包括该滤波器单元的基板处理设备和基板处理方法在审
| 申请号： | 202010434951.5 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111988008A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | O·噶尔斯特延;成晓星;全炳建;安宗焕 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;童剑雄 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种基板处理设备。基板处理设备可包括：腔室，在腔室中限定有处理空间；支撑单元，用于将基板支撑在处理空间中；加热器电源，其用于向支撑单元中的加热器施加电力；以及高频电源，用于将高频电力施加到支撑单元中的下部电极；以及滤波器单元，其安装在用于将加热器电源与加热器连接的线路处以防止高频流入。滤波器单元可包括：壳体；壳体中的一个或多个线圈；以及设置在壳体与线圈之间的调节构件。调节构件可以由非磁性材料制成。调节构件可以以预定间隔与线圈间隔开，并且与壳体的内壁间隔开或者与壳体的内壁接触。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 单元 包括 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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