[发明专利]一种氩气净化与回收方法及系统有效
申请号: | 202010424997.9 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN111634896B | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 李世刚;蒋化;王艳婷;沈红宝 | 申请(专利权)人: | 北京北大先锋科技有限公司 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人: | 黄凤茹 |
地址: | 100080 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公布了一种氩气净化与回收方法及系统,依次包括:第一段变温吸附装置TSA1,换热器,欠氧催化塔,加热器,循环氧化塔,第二段变温吸附装置TSA2,脱氮装置VPSA,真空泵;各个构件通过管路及阀门组件相连接。将氩气中含有的烃类物质分开进行处理,且采用两段燃烧方法,先使用第一段变温吸附装置TSA1首先脱除难燃烧的烃类物质,再通过低温催化的方式燃烧吸附量小易燃烧的烃类物质,使得系统热量充分利用,运行费用低,氩气的回收率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 净化 回收 方法 系统 | ||
【主权项】:
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