[发明专利]一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器及制作方法

摘要

本发明公开了一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器，所述横向热电薄膜外延地生长在所述斜切衬底表面；所述第一电极与所述第二电极分别设置在所述横向热电薄膜表面沿斜切衬底方向两端；所述具有超结构表面的红外吸收器设置在所述第一电极与所述第二电极之间，与所述横向热电薄膜耦合在一起，且与所述第一电极、所述第二电极绝缘；本发明的有益效果为实现对中远红外光的高效探测和快响应探测；可以实现对中远红外光的室温探测；实现对特定波长的红外光的选择性探测，实现对不同偏振光的选择性探测，可应用于非色散红外气体传感器。结构简单，通过薄膜沉积工艺制作，制作工艺与COMS工艺兼容，易于规模化生产。