[发明专利]一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法在审
| 申请号： | 202010383006.7 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111420919A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 李文涛;顾向前;龚春东 | 申请（专利权）人： | 理纯（上海）洁净技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B9/093 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张妍 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨液喷雾清洗装置及清洗方法，该装置包括研磨液柜体；研磨液进液控制阀组件，所述的研磨液进液控制阀组件进口输入研磨液，出口连接于研磨液柜体的接口；超纯水进液控制阀组件，所述的超纯水进液控制阀组件进口输入超纯水，其出口连接于研磨液柜体的接口；喷雾清洗部件，所述的喷雾清洗部件包括：喷雾头、高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀，所述的喷雾头设置于研磨液柜体顶部内侧，所述的高纯氮气控制阀和第一超纯水控制阀并联后连接于喷雾头；出液控制阀，其进口连接研磨液柜体的出口。本发明能够减小研磨液柜体清洗时间，并提高清洁效果，并可以节约超纯水的使用量，有利于节省运营成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 喷雾 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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