[发明专利]一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源及制备方法有效
申请号: | 202010351253.9 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN111524771B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 陈军;王成赟;邓少芝;许宁生 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01J35/04 | 分类号: | H01J35/04;H01J35/06;H01J9/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈嘉毅 |
地址: | 510275 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源,包括金属阳极基板和冷阴极电子源基板,所述金属阳极基板和冷阴极电子源基板之间保持真空间隙,所述冷阴极电子源基板中,包括绝缘衬底、底部条状阴极电极、在绝缘衬底上刻蚀的刻蚀通孔、顶部阴极电极、顶部环状栅极电极以及纳米冷阴极。同时公开了一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源的制备方法,本发明的冷阴极平板脉冲X射线源制备工艺简单,具备快速响应能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 响应 阴极 平板 脉冲 射线 制备 方法 | ||
【主权项】:
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