[发明专利]一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010339601.0 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111664974A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 韩丹;桑胜波;冀健龙;张强;李强;张虎林;禚凯;袁仲云 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 崔雪花;冷锦超 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法，属于柔性应力传感器技术领域；具体是将黑磷晶粒旋涂至衬板后，将衬板连同赤磷、碘、锡装入石英管中封管；经过常压加热并保温一定时间后得到黑磷薄膜，将黑磷薄膜封装在上层PDMS微薄膜基底和下层图形化PDMS微薄膜基底中并连接电极制备得到柔性压力传感器，其中采用FIB技术对PDMS微薄膜进行图形化加工；本发明在衬底表面形成大量形核点，极大提高了黑磷在衬底表面的成膜面积和成膜质量，黑磷薄膜悬空，增加薄膜应变量，进而提高传感性能，从而灵活、方便的实现了超灵敏柔性应力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黑磷 柔性 应力 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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