[发明专利]一种减小波导尖端尺寸的方法有效
| 申请号： | 202010325446.7 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111487716B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 贾连希;王庆;刘雨菲;余明斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/136;G02B6/13;G02B6/126 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种减小波导尖端尺寸的方法，包括曝光原先二次曝光的区域，并完成刻蚀。本发明可以尽可能的减小波导侧壁的不对称，降低偏振旋转效应，进一步推进了倒锥形波导的制作和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减小 波导 尖端 尺寸 方法 | ||
【主权项】：
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