[发明专利]一种探针卡有效
| 申请号： | 202010315653.4 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113533929B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 牛刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京市一法律师事务所 11654 | 代理人： | 刘荣娟 |
| 地址： | 300385*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种探针卡，所述探针卡包括：基板；以及多个探针，所述多个探针分别与所述基板电连接，其中，所述多个探针的每个探针在所述基板上的投影都落在同一直线上。本申请所述的探针卡，所述多个探针的每个探针在所述基板上的投影都落在同一直线上，探针沿切割道的方向接触焊垫，不会滑出焊垫，探针和焊垫有良好的接触，扎针深度较深，晶圆测试能力较好，并且相较于常规探针卡，只需要简单调整探针的排列方式，没有大的改造，不会提高探针卡造价。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 | ||
【主权项】：
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