[发明专利]微电子器件编带的除尘装置在审
| 申请号： | 202010315294.2 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111330917A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴华;袁宇锋;朱元庆 | 申请（专利权）人： | 南通芯盟测试研究院运营管理有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种微电子器件编带的除尘装置，主体为圆环型结构，能够让编带从圆环的内部穿越，自左下向右上移动。编带输送机构在除尘装左下方，绕卷机构在除尘装置的右上方。圆环内侧具有压缩空气出气孔，让压缩空气能够吹落编带两侧的灰尘。优选出气孔的出气方向朝向斜下方，与编带所在的铅垂面具有倾斜30‑60°的倾斜角度。本发明的编带两侧面均能除尘，而且两侧面均不与圆环直接接触，编带行走通过时几乎没有摩擦阻力。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 器件 除尘 装置 | ||
【主权项】：
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