[发明专利]一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构及制备方法在审
| 申请号： | 202010310630.4 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111378927A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 文峰;吴咏梅;邓乔元;刘嘉琪 | 申请（专利权）人： | 海南大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/38;C23C14/35 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 鞠传龙 |
| 地址： | 570228 *** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构及制备方法，硬质薄膜结构是在弹性基底上敷设有类金刚石薄膜，类金刚石薄膜与弹性基底之间设置有纳米过渡层。制备方法为：第一步、清洗弹性基底；第二步、制备类金刚石薄膜,具体步骤为：步骤一、制备纳米过渡层；步骤二、制备外层硬质薄膜。有益效果：形成高质量的纳米结构过渡层；进一步形成结合力强、柔韧性高、耐磨性好的类金刚石薄膜硬质薄膜结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 敷设 弹性 基底 硬质 薄膜 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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