[发明专利]用于扫描探针显微镜的微型悬臂梁探针及其制造方法在审
| 申请号： | 202010306044.2 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111413520A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王卫杰;苏全民 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;G01Q70/08;G01Q70/14;G01Q70/10;G01Q70/16 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 悬臂梁探针是由多层结构形成的，多层结构包含上基底、下基底、内层、第一分离层和第二分离层，其中第一分离层位于上基底和内层之间，第二分离层位于下基底和内层之间，以及其中第一和第二分离层相对于第一和第二基底、内层有区别地可蚀刻。上基底是第一器件层，探针针尖从此处形成。内层是第二器件层，悬臂从此处形成。下基底是手柄层，手柄或基部从此处形成。任何一层的造型和蚀刻处理通过分离层与其他层隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 探针 显微镜 微型 悬臂梁 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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