[发明专利]一种直排串联真空泵组有效
| 申请号： | 202010248420.7 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111255690B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 荣易 | 申请（专利权）人： | 江苏格里克真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/02 | 分类号： | F04C23/02;F04C25/02;F04C18/12;F04C29/12 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 刘娟 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直排串联真空泵组，包括三轴模块化干式真空泵、真空泵驱动电机、前级真空泵装置、三通管道和弹簧式单向阀，所述真空泵驱动电机与三轴模块化干式真空泵的中泵轴传动连接，所述三通管道三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀，三通管道的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵的排气口和前级真空泵装置的进气口连通，所述前级真空泵装置的进气口处设有阀门；通过使用本装置，使用一个极小的液环真空泵或者油式旋片真空泵就可以在0‑100kpa时都能够满足最大的抽气能力，不受环境影响，可以达到很高的真空度(0.01‑0.1Pa)，同时在任何阶段可以满足最经济的能耗需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 串联 真空泵 | ||
【主权项】：
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