[发明专利]一种生产超薄CVD金刚石的方法在审
| 申请号： | 202010231730.8 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111360411A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 赵芬霞;刘宏明 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/70;B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 邓凌云 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石加工技术领域，且公开了一种生产超薄CVD金刚石的方法，包括如下步骤：S1.准备待处理加工的CVD金刚石片、功率大于10W的激光器和用于驱动激光器运动的数控机床；S2.将CVD金刚石片固定在数控机床工作面上，打开激光器发射出激光照射样品表面，CVD金刚石片表面的碳原子与空气中的氧气结合成为二氧化碳气体逸出，从而消耗金刚石的厚度；S3.通过数控机床在平行于CVD金刚石片表面的平面内沿固定路径循环移动激光器，使得激光器照射出的激光光斑能够覆盖CVD金刚石片表面的所有区域。该生产超薄CVD金刚石的方法，具备能够精准控制CVD金刚石片的加工厚度，保证了加工质量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 超薄 cvd 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
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