[发明专利]一种超高真空多功能样品转移装置及转移方法有效
| 申请号： | 202010224826.1 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111398636B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 潘毅;袁玺惠;吴迪;冯松杰;闵泰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q30/20;G01Q30/16;G01N23/2273;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空多功能样品转移装置及转移方法，包括T形管结构的主腔体，在主腔体上方连通存样磁力杆，前壁连通手阀，后壁连通传样磁力杆和吸气泵，左右侧壁设观察窗；还包括一个与手阀对接的晶圆存样腔，晶圆存样腔连通有插板阀，晶圆存样腔侧壁设有观察窗；磁力杆连通有样品托取样头和晶圆取样头；存样磁力杆连接有存样架，晶圆存样腔内腔设有晶圆存样架；分别通过手阀和插板阀依次连通目标超高真空设备，通过传样磁力杆内的取样头夹取目标样品，将目标样品在真空环境下转移至主腔体和晶圆存样腔中。在保证达到超高真空标准的前提下，用一个腔体集成了晶圆和实验室内标准旗形样品托的快速转移和存储功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 多功能 样品 转移 装置 方法 | ||
【主权项】：
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