[发明专利]一种提拉速度控制方法及设备、系统在审
| 申请号： | 202010197634.6 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113493926A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王正远;李侨 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 周娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开一种提拉速度控制方法及设备、系统，涉及晶体生长技术领域，以在单晶硅等晶体生长过程中，抑制晶体生长界面的液面波动，从而降低单晶生长过程中晶体位错发生的可能性。所述方法包括：获取晶体径向参数的测量值d；根据所述晶体径向参数的测量值d和预设增益系数k确定晶体的提拉速度控制信号在每个提拉控制周期内包括的第一控制信号和第二控制信号；根据第一控制信号在第一时段控制晶体以第一提拉速度V |
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| 搜索关键词： | 一种 速度 控制 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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