[发明专利]一种用于光刻胶剥离的水性剥离液在审
| 申请号： | 202010197575.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111352315A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 庄英毅;王雪刚;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 厦门思美科新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国(福建)*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻胶剥离的水性剥离液，所述的水性剥离液由重量份5‑18％的有机胺化合物、重量份55‑75％的有机溶剂、重量份0.2‑10％的添加剂、重量份0.1‑3％的金属抗蚀剂以及余量的水组成；本申请的水性剥离液通过增加有机胺化合物比例的同时加入一定量的金属抗蚀剂，减少剥离时间的同时防止腐蚀，能够同时实现液晶面板及AMOLED行业生产中ITO/Ag/ITO及Mo/Al/Mo结构层中光刻胶的快速剥离、剥离后无光刻胶残留、对环境污染小、使用安全，剥离效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 剥离 水性 | ||
【主权项】：
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