[发明专利]一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件有效
| 申请号： | 202010193179.2 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111443549B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 廖怡;袁明瑞;栗岩锋;谷建强;韩家广 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02F3/00 | 分类号： | G02F3/00;G02B6/122 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于赝表面等离激元波导的太赫兹多功能逻辑门器件，由具有马赫‑曾德干涉形状的赝表面等离激元波导组成；通过电阻率大于3000Ω的高阻硅制成，采用光刻和深度刻蚀技术在硅基底上得到呈周期排列的长方体结构，并通过蒸镀技术将厚度大于200nm的金覆盖在整个硅结构上；逻辑门器件的结构分为两部分，第一部分为逻辑门提供输入信号，第二部分进行逻辑计算。通过改变金属长方体结构的形状和间距参数，控制赝表面等离激元波导的相位属性，从而调节两路或者两路以上传播的赝表面等离激元波导之间的传播相位；实现与门(AND)、或门(OR)、非门(NOT)、与非门(NAND)、或非门(NOR)、异或门(XOR)和同或门(XNOR)7种不同功能的逻辑门器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 离激元 波导 赫兹 多功能 逻辑 器件 | ||
【主权项】：
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