[发明专利]新型阴极靶及旋转进气方法在审
| 申请号： | 202010189336.2 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113403591A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王守国;孙浩斌;姜文;刘玮;张华 | 申请（专利权）人： | 山东晶阵新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 265607 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 所述的一种新型阴极靶及旋转进气方法，包括空心进气阴极和可移动磁体，其特征在于：阴极靶(101)的中间设有旋转进气口(104)，在固定法兰(102)的圆形套筒(106)上也设有旋转进气孔(103)，这种旋转进气设计有利于弧根的旋转，也有利于产生更辉光的等离子体电弧状态；在阴极靶(101)背面设有径向磁体，在靶外侧设有可以前后可移动的磁体，该移动磁体同样可用来调控等离子体电弧的辉光状态，实现靶材的均匀刻蚀，从而使镀膜工件表面得到更光洁、致密的高质量镀膜膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 阴极 旋转 方法 | ||
【主权项】：
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