[发明专利]高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010181260.9 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113403588B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 江晓红;方嘉林 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 刘海霞 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜材料的制备方法。所述方法以石墨为成膜材料，将银棒插入石墨靶材横截面中，采用真空阴极弧等离子蒸发技术，使石墨和银同时蒸发，在磁场的作用下沉积在目标基底表面，在目标基底表面均匀掺杂纳米银。本发明方法制得的高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜具有优良的红外透过性，化学稳定性和耐磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 高硬高 耐磨 掺银类 金刚石 红外 增透膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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