[发明专利]纳米复合锌锑钛信息功能存储薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010175612.X | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111276611A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吴卫华;张贤;汤皓婷;刁懿;朱小芹;胡益丰;邹华;张剑豪 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杭行 |
| 地址： | 213011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开一种纳米复合锌锑钛信息功能存储薄膜及其制备方法和应用，该薄膜的总厚度为30~100 nm，其化学组成符合化学通式(Zn |
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| 搜索关键词： | 纳米 复合 锌锑钛 信息 功能 存储 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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