[发明专利]一种卡夹校正装置和卡夹校正设备有效
| 申请号： | 202010175611.5 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111361967B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 潘忠怀;常江 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/24 | 分类号： | B65G47/24;B65G43/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;魏艳新 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种卡夹校正装置，其中，包括：校正机构和检测机构；所述检测机构包括检测触片和检测传感器；所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上，所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部；所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述承载台上的卡夹，以校正所述卡夹的位置；所述检测触片可拆卸地设置在所述推动部上，用于在所述卡夹的位置被校正后触发所述检测传感器,所述检测传感器用于在被所述检测触片触发后输出校正完成信号。本发明还提供一种卡夹校正设备。本发明可以使检测机构在卡夹具有较大尺寸误差时依然可以输出校正完成信号，提高校正检测的正确率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校正 装置 设备 | ||
【主权项】：
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