[发明专利]稀土氧化物基单片式腔室材料在审
| 申请号： | 202010165692.0 | 申请日： | 2014-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN111233474A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | J·Y·孙;B·P·卡农戈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C04B35/505 | 分类号： | C04B35/505;C04B35/622 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本申请公开了稀土氧化物基单片式腔室材料。一种固体烧结陶瓷制品可包括固溶体，所述固溶体包含：约30摩尔％至约60摩尔％的浓度的Y |
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| 搜索关键词： | 稀土 氧化物 单片 式腔室 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
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