[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202010162461.4 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN112039482A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜压电声波谐振器、滤波器及电子设备，包括：从上至下依次叠置的上电极、压电层和下电极；在有效谐振区上电极、压电层和下电极依次重叠，有效谐振区在压电层方向上的投影为六边形；六边形具有长度最长的第一边、与第一边相对的第二边，长度最短的第三边、与第三边相对的第四边；通过有效谐振区的第一边界延伸出有效谐振区的上电极定义为上电极引出部，通过有效谐振区的第二边界延伸出有效谐振区的下电极定义为下电极引出部；第一边界和第二边界其中之一为第一边，另一为第二边；位于第三边处的第一开口，在有效谐振区外侧贯穿上电极、压电层和下电极；位于第四边处的第二开口，在有效谐振区外侧贯穿上电极、压电层和下电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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